亚洲一二三四五新区：探索数字新大陆，开启无限可能

在å�Šå¯¼ä½“åˆ¶é€ çš„Class1æ´�净ç�¯å¢ƒISO Class3中哪怕

1μm的粉尘都å�¯èƒ½å¯¼è‡´æ™¶åœ†æŠ¥åºŸè€Œç¿˜æ›²æ™¶åœ†å°¤å…¶æ˜¯Â±5mm以内的薄å�‹æˆ–å¼‚å½¢æ™¶åœ†çš„ä¼ è¾“æ›´æ˜¯éš¾ä¸ŠåŠ éš¾â€”â€”æ—¢è¦�ä¿�è¯�超高æ´�净度å�ˆè¦�é�¿å…�å› æœºæ¢°æ�¥è§¦å¯¼è‡´çš„å·¥ä»¶ç ´æ�Ÿã€‚这时候选对晶圆æ�¬è¿�机械手就æˆ�了关键。作为专注HIWIN产å“�25年的技术团队我们é�‡åˆ°è¿‡ä¸�少这类场景总结下æ�¥é€‰å�‹å�¯ä»¥ä»�æ´�净设计ã€�末端效应器和稳定性三个方é�¢å…¥æ‰‹ã€‚先看æ´�净度适é…�。Class1ç�¯å¢ƒå¯¹è®¾å¤‡çš„防尘ã€�防污染è¦�求近ä¹�苛刻HIWIN晶圆æ�¬è¿�机械手在这方é�¢ä¸‹äº†ä¸�少功夫本体内置负å�‹é˜²å°˜ç»“æ�„粉尘隔ç»�ç�‡èƒ½è¾¾åˆ°

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9%é�¿å…�è¿�行时产生的颗粒污染晶圆所有外露部件采用ä¸�锈钢或阳æ��氧化处ç�†è¡¨é�¢å…‰æ»‘æ— æ­»è§’å‡�少粉尘附ç�€ã€‚åƒ�E系列ã€�H系列ã€�A系列都支æŒ�Class1-Class100多æ´�净等级切æ�¢å…¶ä¸­E系列虽然主打性价比但Class1æ´�净适é…�å�Œæ ·ä¸�å�«ç³Šç‰¹åˆ«é€‚å�ˆå¯¹æˆ�本æ•�æ„Ÿçš„LEDå‰�段工艺。å†�æ�¥è¯´ç¿˜æ›²æ™¶åœ†çš„ä¼ è¾“ç—›ç‚¹ã€‚ç¿˜æ›²æ™¶åœ†çš„æœ€å¤§é—®é¢˜æ˜¯â€œä¸�å¹³â€�ä¼ ç»ŸçœŸç©ºå�¸å�–å¼�容易出ç�°å±€éƒ¨å�¸é™„ä¸�å�‡å¯¼è‡´æ™¶åœ†è¿›ä¸€æ­¥å�˜å½¢ç”šè‡³ç¢�裂。HIWIN晶圆æ�¬è¿�机械手的末端效应器æ��供了针对性解决方案伯努利Bernoulliå�‹æœ«ç«¯åˆ©ç”¨æ°”æµ�å½¢æˆ�æ— æ�¥è§¦æ°”å�«èƒ½â€œæ‰˜ä¸¾â€�而é��“å�¸é™„â€�晶圆哪怕是å�šåº¦50umçš„è¶…è–„ç¿˜æ›²ç‰‡ä¹Ÿèƒ½å¹³ç¨³ä¼ è¾“æ‰¿é� å¼�末端则通过边缘æ�¥è§¦è®¾è®¡ä¸�触碰晶圆正å��é�¢é€‚é…�±

5mm翘曲é‡�的产å“�比如HPA8-Eå�‹Aligneræ�­é…�的承é� å¼�牙å�‰æ‰‹è‡‚就专门解决é€�æ˜�或超薄片的定ä½�ä¼ è¾“éš¾é¢˜ã€‚ç¨³å®šæ€§ä¹Ÿä¸�能忽视。翘曲晶圆本身结æ�„è„†å¼±ä¼ è¾“è¿‡ç¨‹ä¸­çš„éœ‡åŠ¨æˆ–é€Ÿåº¦æ³¢åŠ¨éƒ½å�¯èƒ½é€ æˆ�æ�Ÿä¼¤ã€‚HIWIN晶圆æ�¬è¿�机械手在这方é�¢æœ‰æ˜�ç¡®å�‚æ•°E系列采用DD马达直驱震动≤

3G�行更平稳H系列和A系列虽然震动值�高

5G但通过伺æœ�å‡�速机的组å�ˆé€Ÿåº¦æ�§åˆ¶æ›´ç²¾å‡†R/W轴最高2000mm/s的速度下ä»�能ä¿�æŒ�è¿�动平滑é�¿å…�急å�œæ€¥å�¯å¯¹æ™¶åœ†çš„冲击。我们曾有客户用H系列æ�­é…�ä¼¯åŠªåˆ©æœ«ç«¯ä¼ è¾“6å¯¸ç¿˜æ›²çš„æ™¶åœ†ç ´æ�Ÿç�‡ä»�å�Ÿæ�¥çš„

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005%以下效�很�显。作为HIWIN集团正���的专��销商海�机电2000年�立至今已�25年���书编�HC-D2026002我们�触过�少Class

ç�¯å¢ƒä¸‹çš„ç¿˜æ›²æ™¶åœ†ä¼ è¾“éœ€æ±‚ã€‚é€šå¸¸ä¼šå…ˆç¡®è®¤å®¢æˆ·çš„æ™¶åœ†ç¿˜æ›²é‡�比如是±1mm还是±5mmã€�å�šåº¦150um还是500um以上å†�æ�¨è��适é…�的末端效应器和机å�‹â€”—比如±3mm以内的翘曲å�¯é€‰ä¼¯åŠªåˆ©æœ«ç«¯H系列追求高速则选E或A系列超过±3mm的严é‡�翘曲承é� å¼�末端A系列的组å�ˆä¼šæ›´ç¨³å¦¥ã€‚毕竟在Class

�净�境里晶圆��机械手�仅是“��工�更是产�良�的“守护者�。

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